山西某半导体公司真空清扫系统

过滤主机： 直立式滤筒除尘器 (脉冲滤筒式除尘器)

粉尘类型：硅粉尘、碳化硅、氮化镓、氮化铝

处理风量：900m3/h

使用工段：芯片封装、清理作业

控制系统：风机自动恒压变频控制系统

防爆措施：压力检测、压差检测、风速检测、智能自动化控制系统等

应用行业：半导体材料，芯片，电子材料

真空清扫系统工厂试机 图1

真空清扫系统工厂试机 图2

真空清扫系统工厂试机 图3

真空清扫系统工厂试机  图4